皖儀氦檢真空主抽為什麼時間過長

⑴ 氦氣檢漏儀的工作原理

1．氦質譜檢漏儀氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用於檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用於各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底雜訊顯著減小．其靈敏度可達10-14～10-15Pam3／s，適用於超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置於檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點．適用於大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3／s。(1)工作原理與結構氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀現以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀，其結構如圖2所示。在質譜室內有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；第一級放大靜電計管和冷陰極電離規。質譜室的工作原理如圖3所示。在離化室N內，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。並在加速電壓作用下以一定的速度經過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉半徑可按式（5）計算。可見，當B和U為定值時，不同質荷比me-1的離子束的偏轉半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調節加速電壓U使氦離子束[圖中(me-1)2]恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流並由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同於氦質荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。(me-1)2=4，即He+的質荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。②雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀圖4示出了雙級900縮轉串聯式磁偏轉型氦質譜檢漏儀的質譜室。由於兩次分析，減少了非氦離子到達收集器的機率。並且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設置加速電場，使離子在進入第二個分析器前再次被加速。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過第一個分析器，但是，經第二次加速進入第二個分析器後，由於其動量與氦離子的不同而被分離出來。由於二次分離，儀器本底及本底雜訊顯著地減小，提高了儀器靈敏度。③逆流氦質譜檢漏儀逆流氦質譜檢漏儀的結構特點如圖5所示。該類儀器是根據油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關的原理製成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102；對空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質譜室中去，並由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質譜檢漏儀的工作原理。(2)性能試驗方法靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。①靈敏度及其校準氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的最小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處於最佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的最小漏孔漏率。所謂「最佳工作條件」是指儀器參數調整到最佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂「動態檢漏」是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大於3s。所謂「最小可檢」是指檢漏訊號為儀器本底雜訊的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂「漏孔漏率」是指一個大氣壓的乾燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底雜訊，一般指在2min內輸出儀表的最大波動量。漏率靈敏度標准系統如圖6所示。圖中虛線框內部分為配氣系統．即為標准漏孔5進氣端提供壓力為pHe的純氦氣。輔助泵6的任務是預抽。用乾燥瓶4和針閥2調節儀器工作壓力。如果儀器本底為I0，本底雜訊為In，標准漏孔對空氣的標稱漏率為qL.o，當其進氣壓力為pHe時的儀器訊號為I，則儀器靈敏度為式（6）。如果檢漏時用輔助系統抽氣(即對示漏氦氣有分流)。或用累積法檢漏時，給出儀器最小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。濃度靈敏度校準系統中應用一流量計測出圖6的通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度成為式（7）。②反應時間、清除時間及其測定反應時間是指儀器節流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償到零)時，由恆定的氦流量使輸儀表訊號上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。清除時間是指輸出儀表訊號穩定到最大值後，停止送氦，其訊號下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。反應時間和清除時間的測定裝置如圖7所示。③工作真空、極限真空及入口處抽速質譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表徵儀器性能的重要參數。利用檢漏儀的真空規可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。

⑵ 氦質譜檢漏儀一天用多少個小時對設備最好

三四個小時，沒什麼問題的
其實，對設備的所謂的好壞，主要在於電子和真空設備，如果所用的電子元件比較高檔，以及真空泵質量好的話，使用時間長一點沒問題，尤其是真空部分，一直保持真空若干天都是可以的。

⑶ 擴散泵真空度抽不上去，換過新油後抽兩次擴散泵真空度就抽不上去了。而且每次抽的時候真空度抽的特別慢

應該還是有地方漏氣造成的，那個油氧化。
還有油溫太低，不會造成油氧化的。
油溫過高反而會造成油的氧化。
一般油擴散泵的溫度在230度以下。
長時間的高溫會使增壓泵油那個氧化。
真空抽不上去，還是那個有地方漏氣。
還有需要考慮其他哪個地方可能有漏氣的現象吧。
管道介面的密封件老化，固定螺絲是否松動，排除油擴散泵自身的原因，還要考慮其他設備漏氣。
現在都有氦氣氣體檢漏儀來，自己買十幾萬劃不來，可以請專業人士來檢漏，不排除漏氣現象設備肯定不能正常使用的。

⑷ 氦檢抽真空超時失敗是什麼原因

故障箱門關不到位。氦檢抽真空超時失敗原因是故障箱門關不到位，引起真空管路阻塞精抽泵故障才會超時失敗。氦檢，主要定義為對被檢工件抽空後充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦質譜檢漏儀檢漏口相接。